在国内某大型多晶硅企业的生产过程中，电加热器主要用于氢气、导热油、氯硅烷气体的加热。
多晶硅生产过程中，电加热器主要用于气体(包括氢气、氮气、氯化氢、氯硅烷气体等)、工艺液体(氯硅烷液体)及辅助介质(如导热油)的加热。
直接式电加热器常见故障及分析有以下几点故障原因：
多晶硅用电加热器出现故障的原因主要有两方面，一方面是设备本体质量问题，另一方面与运行工艺有关。
常见故障为电加热管与管板焊接问题、套管本体质量问题导致泄漏、电加热管烧坏、加热管绝缘性低。
电加热器的故障原因：
A.板焊接故障。
1．打压检漏时焊缝漏气;2．防爆接线盒泄漏物料。
设备质量问题，焊接质量差。
B.套管裂纹。
1．套管表面出现水解物;2．套管表面着火。
生产环境含腐蚀性气体，套管被腐蚀。
C.电加热管烧坏。
1．DCS电加热管短路;2．高温报警;3．设备跳停;4．接线盒处物料泄漏。
1．二氯二氢硅高温下分解产生无定形硅附着在加热管上，电阻丝产生的热无法及时散出而导致局部温度过高，加热管烧断。
2．工艺气体中含粉尘较多时，导致电加热芯表面因粉尘附着热量散发不出去而烧坏。
3．电加热管本身质量问题。
D.电加热管绝缘性低电工检测接地电阻低。
1．设备质量问题。
2．电加热管内氧化镁粉干燥度不够。