国内某大型多晶硅企业的电加热器的故障统计因为电加热管绝缘性低故障一般在设备调试时被发现，电加热器共投用108台，投用至今共发生故障45次，其中电加热管烧坏故障率最高，占总故障的64%，主要原因是原料四氯化硅含粉尘多，其次是因为早期的工艺中二氯二氢硅未进行反歧化处理，就直接加入到氢化四氯化硅原料储罐内，然后和四氯化硅、氢气一起进入混合气电加热器加热，二氯二氢硅高温下分解产生无定形硅附着在加热管上，电阻丝产生的热无法及时散出而导致局部温度过高，使加热管烧断。
套管泄漏故障率也较高，占总故障的27%，其原因主要是多晶硅工厂的大气环境常含有氯离子，电加热器正常工作时套管温度高，水分无法在表面停留，不容易被腐蚀，但是冷氢化系统需要定期停车排渣，导致套管在常温下易被大气中的氯离子腐蚀。
电加热管与管板焊接问题属于设备质量问题，占总故障的9%。
电加热器投用第2年的平均故障次数比第1年有所上升，但是投用第2年故障全部为电加热管烧坏故障，与生产工况关系较大，投用第3年基本上无故障发生，这说明在工况较好(加热介质无二氯二氢硅且物料干净)的条件下，无质量问题的电加热器的使用寿命能达到较长时间。